佳世達集團羅昇企業旗下資騰科技（Standard Technology Corporation）參加Semicon China 2024展覽，展示多項協助優化半導體製程的創新產品，如超潔淨金屬氣體過濾器、超高精度光阻塗佈泵等。該展覽於3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉行，資騰科技的展位位於N3館3145號。

資騰科技總經理陳國榮表示，因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求，今年資騰科技將展示一系列針對半導體製造行業的創新產品，旨在提高製程效率、減少環境負荷，並支援產業的永續發展。以下是其中幾項亮點產品：

1.      超潔淨金屬氣體過濾器:次世代奈米工廠必備，金屬燒結微米級不銹鋼(SUS 316L)短纖維製成薄層金屬膜過濾器，皺褶狀設計增加過濾面積。Load lock chamber排氣過濾而設，縮短排氣時間，提高機台5-8%的稼動率。

2.      超高精度光阻塗佈泵:適用於半導體黃光製程光阻塗佈，以及其他需要精準控制藥液噴吐量的應用場景，幾乎零藥液浪費，可與半導體設備(如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等)匹配使用。提供氣缸式和馬達式控制，穩定性高且壽命長，資騰提供在地即時服務支援。

3.      非接觸型渦漩式吸筆: 資騰自主研發，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學元件，避免晶圓或是光學元件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩定性。具有客製化和價格優勢，目前已有SiC與光學元件廠客戶銷售實績。

資騰充分考量中國市場特性和全球趨勢，針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠、設備國產化等領域提出不同的解決方案，通過強大的產業實踐經驗和技術能力，與合作夥伴們攜手，共同促進半導體產業的創新未來。

【展覽資訊】

SEMICON CHINA 2024 展覽時間

2024年3月20-22日 09:00am - 5:00pm

地點: 上海新國際博覽中心

資騰展位: N3館Booth: 3145(靠近3號Entrance)

 
【關於資騰】(https://www.stc.tw/)

資騰科技(股)公司是佳世達集團旗下羅昇(8374)子公司，成立於1988年，是一家專業半導體、平面顯示器及封裝設備與材料等技術服務公司。主要專業領域於：黃光微影製程應用、晶圓承載傳送系統、晶圓凸塊製程及檢測設備、雷射應用系統等。資騰科技堅持「誠信、專精、創新」理念，力求信守承諾、專注品質與經營創新。

  
【同場活動訊息】

天津羅昇企業有限公司，憑藉多樣化的產品及傑出的系統集成服務能力，已在半導體、機器人、智慧製造、機床、醫療等行業有著諸多行業服務經驗。本次也將亮相Semicon China 同期同展館的2024 慕尼克上海電子生產設備展，展位號E2-2648，主題「智慧製造行業供應鏈」。

展位上將為客戶展示「機器人供應鏈+自動化集成服務解決方案」、「半導體行業供應鏈之晶圓搬運、晶圓檢測、半導體設備供應鏈、鍵合保壓系統」等、醫療行業供應鏈之「醫療床、CT床及體外檢測」等。期待您的蒞臨。

 【關於羅昇】(https://www.acepillar.com/)

天津羅昇企業有限公司作為羅昇企業的子公司，早在1993年憑藉引進國外一流的產品和豐富的應用經驗，開始在為中國的機械製造企業提供先進、高效、靈活、完整的解決方案。

目前，天津羅昇坐落在大陸已建立12家分公司，並與多家分銷商合作，

已構成覆蓋全國的銷售和服務網路。服務領域涉及機器人、半導體、醫療、能源、機床、工廠自動化、航空/航太、電力、冶金、石化、醫療等領域。